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低溫冷卻循環(huán)器泵

簡要描述：LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

  • 產(chǎn)品型號：LX-70
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-01-18
  • 訪  問  量：2125

詳細介紹

品牌冠特制冷

LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

LX-70低溫冷卻循環(huán)器泵技術參數(shù)：

型號
LX-10
LX-25
LX-40
LX-70
LX-10A
LX-145
LX-20A
溫度范圍
-25.0～40.0℃
溫控精度
±1℃
制冷量
20℃
1000W
2500W
4000W
7000W
10000W
14500W
20000W
0℃
700W
1500W
2400W
4000W
7500W
10000W
15500W
-20℃
300W
550W
800W
1500W
3500W
5000W
7300W
泵流量
20L/min 1.5bar
50L/min 1.8bar
安全保護
具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能
冷卻方式
水冷或風冷
溫度探頭
PT100 控制外圍設備
加注冷媒
R404A
整機重量
75kg
90kg
110kg
135kg
165kg
195kg
240kg
電源
AC 220/380V 50/60HZ

 

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